仕上げ用研磨パッドの表面状態に着目した高能率・高平坦研磨加工
仕上げ用研磨パッドの表面状態に着目した高能率・高平坦研磨加工
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注重精加工抛光垫表面状况的高效、高平坦抛光工艺
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
榎本俊之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐藤基起;廣瀬研二;榎本俊之
