BaSi2蒸着膜中の酸素濃度低減と結晶配向への影響
BaSi2蒸着膜中の酸素濃度低減と結晶配向への影響
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BaSi2沉积膜中氧浓度的降低及其对晶体取向的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇佐美徳隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
原康祐;山中淳二;有元圭介;中川清和;宇佐美徳隆
