水とPt触媒によるSiC/GaN表面エッチングの 反応初期過程の第一原理シミュレーション
水とPt触媒によるSiC/GaN表面エッチングの 反応初期過程の第一原理シミュレーション
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水和Pt催化剂SiC/GaN表面刻蚀初始反应过程的第一性原理模拟
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
稲垣耕司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
稲垣 耕司;森川 良忠;山内 和人;中山 享;稲垣耕司
