諸貫信行: "異方性エッチングによる微小形状標準の製作" 日本機械学会75期通常総会講演論文集. Vol.1. 71-72 (1998)
諸貫信行: "異方性エッチングによる微小形状標準の製作" 日本機械学会75期通常総会講演論文集. Vol.1. 71-72 (1998)
复制标题
Nobuyuki Moronuki：“通过各向异性蚀刻生产微形状标准”日本机械工程师学会第 75 届普通大会记录第 1 卷（1998 年）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
