沖村邦雄: "TiO_2薄膜堆積用RFマグネトロンスパッタプロセスの気相診断" 電気学会プラズマ研究会資料(EP-95-119). 105-113 (1995)
沖村邦雄: "TiO_2薄膜堆積用RFマグネトロンスパッタプロセスの気相診断" 電気学会プラズマ研究会資料(EP-95-119). 105-113 (1995)
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Kunio Okimura：“TiO_2 薄膜沉积的射频磁控溅射过程的气相诊断”IEEJ 等离子体研究组材料 (EP-95-119) (1995)。
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