EEM (Elastic Emission Machining)プロセスにおける加工液がSi(001)表面のラフネスに及ぼす影響
EEM (Elastic Emission Machining)プロセスにおける加工液がSi(001)表面のラフネスに及ぼす影響
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EEM（弹性发射加工）过程中加工液对 Si(001) 表面粗糙度的影响
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山内和人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久保田章亀;三村秀和;湯本博勝;森 勇藏;山内和人
