High Density Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers Array Using Epitaxial PZT Thin Film on γ-Al2O3/Si Substrate
High Density Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers Array Using Epitaxial PZT Thin Film on γ-Al2O3/Si Substrate
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γ-Al2O3/Si 衬底上使用外延 PZT 薄膜的高密度压电微机械超声换能器阵列
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Ishida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ozaki;K. Suzuki;Y. Numata;N. Okada;D. Akai;M. Ishida
