DLC成膜によって曲げられたSi結晶の曲率とX線反射率
DLC成膜によって曲げられたSi結晶の曲率とX線反射率
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DLC膜形成弯曲Si晶体的曲率和X射线反射率
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斎藤雅典
中科院分区：
文献类型：
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作者：
楠進吾;武田誠也;得能敦;山室智史;飯塚亮;坪井陽子;赤坂大樹;大竹尚登;斎藤雅典
