Microcantilever with integrated actuator for nanoscale analysis
Microcantilever with integrated actuator for nanoscale analysis
复制标题
带有集成执行器的微悬臂梁，用于纳米级分析
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Tanaka;K.Suzuki;K.Nishizawa;T.Miki;K.Kato;T.Ono
