Advances in Optical Surface Texture Metrology

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光学表面纹理计量学的进展

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发表时间：
2020
期刊：
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通讯作者：
R. Leach
R. Leach
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
R. Leach

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表面纹理测量光学仪器的科学和应用的最新进展。
Latest advances in the science and application of optical instruments for the measurement of surface texture.