PDMSモールドを用いた室温硬化ナノインプリント法によるDLCのナノ加工技術
PDMSモールドを用いた室温硬化ナノインプリント法によるDLCのナノ加工技術
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使用PDMS模具的室温固化纳米压印方法的DLC纳米加工技术
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
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通讯作者:
清原修二,石川一平,松田将平
中科院分区:
文献类型:
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作者:
清原修二,石川一平,松田将平