Design of a collimator-less two-stage acceleration lens for a single ion implantation system
Design of a collimator-less two-stage acceleration lens for a single ion implantation system
复制标题
单离子注入系统无准直两级加速透镜设计
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齋藤 勇一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石井 保行 ;宮脇 信正 ;鳴海 一雅 ,小野田 忍 ;齋藤 勇一
