パリレンC薄膜の引張特性に及ぼす膜厚の影響
パリレンC薄膜の引張特性に及ぼす膜厚の影響
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膜厚对Parlene C薄膜拉伸性能的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y-C Tai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陳強;皮龍石紀雄;橋口原;鈴木孝明;Y-C Tai
