Hiroharu kawasaki: "Study on growth processes of particles in germane rf discharges using laser light scattering and SEM methods" J. Appl. Phys.83・11. 5665-5669 (1998)
Hiroharu kawasaki: "Study on growth processes of particles in germane rf discharges using laser light scattering and SEM methods" J. Appl. Phys.83・11. 5665-5669 (1998)
复制标题
Hiroharu Kawasaki：“利用激光散射和SEM方法研究锗烷射频放电中的颗粒生长过程”J. Appl. 5665-5669 (1998)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
