ガラスナノインプリントにおける離型評価と微細構造形成
ガラスナノインプリントにおける離型評価と微細構造形成
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玻璃纳米压印中的脱模评估和微结构形成
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
西山 宏昭
中科院分区:
文献类型:
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作者:
西井 準治;池田 弘;笠 晴也;西山 宏昭