零熱膨張率ガラスを用いたカンチレバー型振動子の作製
零熱膨張率ガラスを用いたカンチレバー型振動子の作製
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采用零热膨胀系数玻璃制作悬臂式振动器
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小代洸太;内海太一; 塚本貴城;田中秀治
