スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源のデブリ挙動計測
スズドロップレットを用いたレーザー生成プラズマEUV光源のデブリ挙動計測
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使用锡滴测量激光产生的等离子体 EUV 光源的碎片行为
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡田龍雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中村大輔;秋山智哉;岡崎巧太;高橋昭彦;岡田龍雄
