岡崎健,戸部了己,安田真一,水野彰: "CVD用高電圧極短パルスプラズマの生成維持条件" 日本機械学会論文集. (掲載決定). (1994)

岡崎健,戸部了己,安田真一,水野彰: "CVD用高電圧極短パルスプラズマの生成維持条件" 日本機械学会論文集. (掲載決定). (1994)
复制标题

Ken Okazaki、Ryomi Tobe、Shinichi Yasuda、Akira Mizuno:“CVD 中产生和维持高压超短脉冲等离子体的条件”,日本机械工程师学会论文集(决定出版)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献