Deposition Mechanism of Metal Oxide for FeRAM Electrode using Flow Type Supercritical Fluid Deposition Reactor
Deposition Mechanism of Metal Oxide for FeRAM Electrode using Flow Type Supercritical Fluid Deposition Reactor
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使用流动式超临界流体沉积反应器沉积 FeRAM 电极金属氧化物的机理
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Yukihiro Shimogaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kyubong Jung;Yu Zhao;Takeshi Momose;and Yukihiro Shimogaki
