MEMSデバイスを利用した新規その場TEM機械試験システムの開発と検証

MEMSデバイスを利用した新規その場TEM機械試験システムの開発と検証
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使用 MEMS 器件开发和验证新型原位 TEM 机械测试系统

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
栃木栄太
栃木栄太
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
高田響;橋本愛守可;伊藤尚;前田義信;栃木栄太

文献摘要

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