H.Sakaue: "Reflective Absorption Spectroscopy of Reaction Process of Silicon Surface with Fluorine Radicals" Digest Papers Micro Process '94,Hsinchu,Taiwan. 230-231 (1994)

H.Sakaue: "Reflective Absorption Spectroscopy of Reaction Process of Silicon Surface with Fluorine Radicals" Digest Papers Micro Process '94,Hsinchu,Taiwan. 230-231 (1994)
复制标题

H.Sakaue:“硅表面与氟自由基反应过程的反射吸收光谱”文摘微处理94,台湾新竹。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献