Optimization of GCIB irradiation conditions for surface activated bonding Proceedings of 5th Int. Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
Optimization of GCIB irradiation conditions for surface activated bonding Proceedings of 5th Int. Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
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表面活化粘合 GCIB 辐照条件的优化第五届国际会议论文集
DOI：
10.23919/ltb-3d.2017.7947462
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Noriaki Toyoda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shota Ikeda;Tomoya Sasaki;Noriaki Toyoda
