Heteroepitaxial growth of 3C-SiC films on maskless patterned silicon substrates
Heteroepitaxial growth of 3C-SiC films on maskless patterned silicon substrates
复制标题
无掩模图案化硅衬底上 3C-SiC 薄膜的异质外延生长
DOI：
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发表时间：
2008-08
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
孙国胜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
赵万顺;Sun, Guosheng;宁瑾;Li, Jinmin;王雷;Zhao, Yongmei;Zhao, Wanshun;李晋闽;赵永梅;Liu, Xingfang;Wang, Lei;Ning, Jin;刘兴昉;孙国胜
