回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-XYZ格子形状誤差マップによる計測誤差非線形分の補正-
回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-XYZ格子形状誤差マップによる計測誤差非線形分の補正-
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衍射光干涉型3轴面编码器的研究 - 利用XYZ光栅形状误差图修正测量误差非线性成分 -
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
曽理江
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村彰秀;高偉;曽理江
