パルスマグネトロングロープラズマの磁場制御と成膜へのバイアス電圧の影響
パルスマグネトロングロープラズマの磁場制御と成膜へのバイアス電圧の影響
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脉冲磁控辉光等离子体磁场控制及偏压对成膜的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小西匠，高木浩一，行村建
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yoshimura;K. Terasaka;E. Tanaka;M. Aramaki;A. Okamoto;K. Nagaoka and M. Y. Tanaka;山口義和，井上雅彦;杉浦直治;小西匠，高木浩一，行村建
