Electron-cyclotron-wave-resonance plasma assisted deposition of cubic boron nitride thin films
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电子回旋波共振等离子体辅助沉积立方氮化硼薄膜
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Cao Zexian
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Cao Zexian
