カンチレバー一体型3次元マイクロステージを用いたナノトライボロジー計測
カンチレバー一体型3次元マイクロステージを用いたナノトライボロジー計測
复制标题
使用悬臂集成 3D 微型平台进行纳米摩擦学测量
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安藤 泰久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大沢 尚吾;安藤 泰久
