超音波援用化学機械複合固定砥粒加工によるSiウェハの高能率鏡面加工
超音波援用化学機械複合固定砥粒加工によるSiウェハの高能率鏡面加工
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采用超声波辅助化学机械联合固定磨料加工对硅片进行高效镜面精加工
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇野文智,呉勇波,藤本正和,野村光由,周立波
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Uchida;N. Tada;Y. Tomita;宇野文智,呉勇波,藤本正和,野村光由,周立波
