Development of co-sputtertring method using open-air micro-plasma jet and its application to synthesis of binary compound materials
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露天微等离子体射流共溅射方法的发展及其在二元化合物材料合成中的应用
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伯田幸也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水禎樹;伯田幸也
