Evidence of layer-by-layer oxidation of Ge surfaces by plasma oxidation through A1203
Evidence of layer-by-layer oxidation of Ge surfaces by plasma oxidation through A1203
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通过 A1203 等离子氧化对 Ge 表面进行逐层氧化的证据
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Takagi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Zhang;P. C. Huang;M. Takenaka;S. Takagi
