Ga2O, H2O原料ガスを用いた高温・高速酸化ガリウム成長の熱力学的検討
Ga2O, H2O原料ガスを用いた高温・高速酸化ガリウム成長の熱力学的検討
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使用Ga2O和H2O源气体高温高速生长氧化镓的热力学研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宇佐美 茂佳,今西 正幸， 秦 雅彦，森 勇介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
富樫 理恵，鈴木 明香里，石田 遥夏;宇佐美 茂佳,今西 正幸， 秦 雅彦，森 勇介
