K.Kudo: "Fabrication of GaInAs/GaInAsP/InP Multi-Quantum-Wires and-Boxes by Substrate-Potential-Controlled Electron Cyclotron Resonance Reactive Ion Beam Etching" Jpn.J.Appl.Phys.33. L1383-L1385 (1994)
K.Kudo: "Fabrication of GaInAs/GaInAsP/InP Multi-Quantum-Wires and-Boxes by Substrate-Potential-Controlled Electron Cyclotron Resonance Reactive Ion Beam Etching" Jpn.J.Appl.Phys.33. L1383-L1385 (1994)
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K.Kudo：“通过衬底电位控制电子回旋共振反应离子束蚀刻制造 GaInAs/GaInAsP/InP 多量子线和盒”Jpn.J.Appl.Phys.33。
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