沖村邦雄他: "イオンプレーティングにおけるAl-Ar混合気体放電のプラズマパラメータとAlのイオン化率" 真空. 36. 545-549 (1993)
沖村邦雄他: "イオンプレーティングにおけるAl-Ar混合気体放電のプラズマパラメータとAlのイオン化率" 真空. 36. 545-549 (1993)
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Kunio Okimura 等人：“离子电镀中 Al-Ar 混合气体放电的等离子体参数和 Al 电离率”真空。 36. 545-549 (1993)
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