柴田 憲治: "プラズマCVD法による銅薄膜の形成" 電気関係学会九州支部連合大会論文集. 47. 132 (1994)
柴田 憲治: "プラズマCVD法による銅薄膜の形成" 電気関係学会九州支部連合大会論文集. 47. 132 (1994)
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Kenji Shibata：“通过等离子体 CVD 方法形成铜薄膜”九州电气工程学会分会联合会会议记录 47. 132 (1994)。
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