ポストシリコン半導体 - ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果 -
ポストシリコン半導体 - ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果 -
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后硅半导体 - 纳米沉积动力学和衬底/界面效应 -
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
財満鎭明;須崎友文;他
