M.Sakaki,T.Sakakibara: "Excitation,Ionization,and Reaction Mechanism of a Reactive Cathodic Arc Depostion of TiN" IEEE Transactions on Plasma Science. 22. 1049-1054 (1994)
M.Sakaki,T.Sakakibara: "Excitation,Ionization,and Reaction Mechanism of a Reactive Cathodic Arc Depostion of TiN" IEEE Transactions on Plasma Science. 22. 1049-1054 (1994)
复制标题
M.Sakaki、T.Sakakibara：“TiN 反应阴极电弧沉积的激发、电离和反应机制”IEEE 等离子科学汇刊。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
