CVD of SrBi2Ta2O9(SBT) Thin Film from Bi(CH3)3 - Sr[Ta(O·C2H5)6]2 - O2 System
CVD of SrBi2Ta2O9(SBT) Thin Film from Bi(CH3)3 - Sr[Ta(O·C2H5)6]2 - O2 System
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Bi(CH3)3 - Sr[Ta(O·C2H5)6]2 - O2 体系中 SrBi2Ta2O9(SBT) 薄膜的 CVD
DOI:
10.4028/www.scientific.net/kem.169-170.145
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发表时间:
1999
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
H. Funakubo
中科院分区:
文献类型:
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作者:
N. Nukaga;Ishikawa Kunio;K. Shinozaki;N. Mizutani;H. Funakubo