Development of atomic force microscopy combined with scanning electron microscopy for investigating electronic devices
Development of atomic force microscopy combined with scanning electron microscopy for investigating electronic devices
复制标题
开发原子力显微镜与扫描电子显微镜相结合用于研究电子设备
DOI：
10.1063/1.5125163
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
1.6
通讯作者：
Iwata Futoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Uruma Takeshi;Tsunemitsu Chiaki;Terao Katsuki;Nakazawa Kenta;Satoh Nobuo;Yamamoto Hidekazu;Iwata Futoshi
