Theoretical Study on Synthesis Processes of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide
Theoretical Study on Synthesis Processes of Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide
复制标题
氢化非晶碳化硅合成工艺的理论研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Momoji Kubo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takuya Kuwahara;Hiroshi Ito;Yuji Higuchi;Nobuki Ozawa;Momoji Kubo
