広視野を30nm解像するEUV顕微鏡の開発
広視野を30nm解像するEUV顕微鏡の開発
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开发出宽视场、30nm分辨率的EUV显微镜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
豊田光紀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Horio;Y. Takakuwa;S. Ogawa and K. Abe;豊田光紀
