Si単結晶におけるクラック先端転位群の電子線トモグラフィ解析
Si単結晶におけるクラック先端転位群の電子線トモグラフィ解析
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单晶硅裂纹尖端位错的电子断层扫描分析
DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
東田賢二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
本田雅幹;田中將己;光原昌寿;波多聰;金子賢治;東田賢二