オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性
オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性
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使用斜角蓝宝石衬底的 ScAlN 和 MgZnO 薄膜的 c 轴倾斜外延生长和剪切波压电特性
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岸大貴;柳谷隆彦
