Development of Debris-Free EUV Source using Gas Jet Z-pinch Plasma
Development of Debris-Free EUV Source using Gas Jet Z-pinch Plasma
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使用气体喷射 Z 箍缩等离子体开发无碎片 EUV 源
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Watanabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masato;Watanabe
