静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発
静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発
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利用静电感应纤维一体结构开发兼容曲面的静电吸盘
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
齋藤滋規
中科院分区：
文献类型：
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作者：
澤井賢司;宝田亘;鞠谷雄士;高橋邦夫;齋藤滋規
