Effect of dissolved oxygen on thermal oxidation in Ta2O5/Ta sandwiches
Effect of dissolved oxygen on thermal oxidation in Ta2O5/Ta sandwiches
复制标题
溶解氧对 Ta2O5/Ta 三明治热氧化的影响
DOI：
10.1007/s11664-998-0159-3
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发表时间：
1998
影响因子：
2.1
通讯作者：
A. Palevski
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yu. Pozdeev;A. Gladkikh;M. Karpovski;A. Palevski
