長尾 勝、南 和幸、江刺正喜: "圧電薄膜を用いたシリコン角速度センサ" 電気学会研究会資料、 センサ・マイクロマシン部門総合研究会. PS-96-12. 53-62 (1996)

長尾 勝、南 和幸、江刺正喜: "圧電薄膜を用いたシリコン角速度センサ" 電気学会研究会資料、 センサ・マイクロマシン部門総合研究会. PS-96-12. 53-62 (1996)
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Masaru Nagao、Kazuyuki Minami、Masaki Esashi:“使用压电薄膜的硅角速度传感器”IEEJ 研究组材料、传感器和微机械部门 PS-96-12 (1996)。

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