Nonlinear Spring Tuning by Electrostatic Combs in Micro Mirror Scanner
Nonlinear Spring Tuning by Electrostatic Combs in Micro Mirror Scanner
复制标题
微镜扫描仪中静电梳的非线性弹簧调谐
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuhiro Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Shiomi;T. Inaba;J. Tatebayashi;and Y. Fujiwara;Kazuhiro Hane
