低オフ角サファイア基板を用いた高温AlN成長におけるV/III比依存性
低オフ角サファイア基板を用いた高温AlN成長におけるV/III比依存性
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使用低偏角蓝宝石衬底进行高温 AlN 生长的 V/III 比率依赖性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
永松 謙太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
富田 敦之;津田 翔太;宮川 拓己;平山 秀樹;髙島 祐介;直井 美貴;永松 謙太郎
