白谷 正治: "Fabrication of Cu thin films using plasma CVD method" Proceeding of the 12th Symposium on plasma processing. 12. 71-74 (1995)
白谷 正治: "Fabrication of Cu thin films using plasma CVD method" Proceeding of the 12th Symposium on plasma processing. 12. 71-74 (1995)
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Masaharu Shiratani：“使用等离子体 CVD 方法制备铜薄膜”第 12 届等离子体处理研讨会论文集。12. 71-74 (1995)
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