宮崎 則幸: "CZ法によるシリコン単結晶成長過程の熱応力解析" 日本機械学会論文集(A編). 58. 1953-1959 (1992)

宮崎 則幸: "CZ法によるシリコン単結晶成長過程の熱応力解析" 日本機械学会論文集(A編). 58. 1953-1959 (1992)
复制标题

Noriyuki Miyazaki:“CZ法硅单晶生长过程的热应力分析”日本机械工程学会会刊(A版)58。1953-1959(1992年)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献